【半導体製造向け】トルクモータ
負荷トルクの変化に対応し、安定した回転を実現
半導体製造業界、特にウェハ搬送においては、精密かつ安定した動作が求められます。 搬送中に発生する負荷トルクの変動は、ウェハの位置ずれや破損につながるリスクを伴います。 これらの課題に対し、トルクモータは、負荷トルクの変化に追従して回転数を変化させることで、安定した搬送を実現し、製造プロセスの信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェハ搬送装置の駆動 ・精密な位置決めが必要な搬送ライン ・振動や衝撃を抑えたい搬送システム 【導入の効果】 ・ウェハ搬送時の安定性向上 ・搬送エラーの低減 ・製造プロセスの歩留まり向上
